FTIR-АНАЛИЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ И ОКСИДА КРЕМНИЯ
Ключевые слова:
оксид кремния, ИК-Фурье-спектрометр, тонкие пленки, спектры поглощения, спектры пропускания, «ионно-плазменный» метод, показатель преломления, спектр НПВОАннотация
ИК-Фурье-спектрометры используются для решения различных задач современной аналитики. Предназначен для качественного анализа, проверки показателя преломления тонких пленок, толщины тонких пленок. Исследованы спектры пропускания и поглощения среднего инфракрасного диапазона, показатель преломления, толщина слоя, стандартное отклонение, угол падения, средние интерференционные полосы и связь между кремнием и кислородом тонких пленок, полученных ионно-плазменным методом.
Библиографические ссылки
Borilo L.P. Thin-film inorganic nanosystems. – Tomsk: 2012 – 134 p.
Scardera G., Puzzer T., Conibeer G., and Green M.A. Journal of Applied Physics 104, 104310 (2008); https://doi.org/10.1063/1.3021158
Normuradov M.T., Dovranov K.T., Davranov Kh.T.. QarDU xabarlari. №(4/1)54. pp. 27-31.2022.
Efimova A.I. A special physical workshop. Moscow, 2014.C: 41.
Normuradov M.T., Dovranov K.T., Davranov Kh.T., Davlatov M. “Prospects of development of the physics of condensed matter” International scientific and scientific-technical conference materials. October 4-15.pp.113-115 2022.
Caroline M., Parler James A., Ritter Michael, Amiridis D.. Journal of Non-Crystalline Solids. Vol. 279, Issues 2–3, February 2001, Pag, 119-125. https://doi.org/10.1016/S0022-3093(00)00401-4
Queeney K.T., Weldon M.K., Chang J.P., Chabal Y.J., Gurevich A.B., Sapjeta J., and Opila R.L. Journal of Applied Physics 87, 1322 (2000); https://doi.org/10.1063/1.372017
Francesco Boschetto, Nami Toyama, Satoshi Horiguchi, M. Ryan Bock, J. Bryan McEntire, Tetsuya Adachi, Elia Marin, Wenliang Zhu, B. Osam Mazda. Sonny Balde and Giuseppe Pezzotti. II.Fourier transform infrared spectroscopy. Analyst. 2018,143, 2128-2140.
https://doi.org/10.1039/C8AN00234G
Gun’ko V.M., Pakhlov E.M., Skubiszewska-Zięba J., Blitz J.P. Vibrational Spectroscopy. Vol. 88, January 2017, Pag, 56-62. https://doi.org/10.1016/j.vibspec.2016.11.003
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2023 Научный вестник Ферганский государственный университета
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.
Как цитировать
Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)
- Muradulla Normuradov, Quvondiq Dovranov, Asilbek Qodirov, Normo’minova Dilnavoz, ФОРМИРОВАНИЕ НАНОФАЗНЫХ ПЛЕНОК CU15SI4/SI НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ И ИХ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 1 (2025): FarDU ilmiy xabarlari jurnali (ANIQ FANLAR)