FTIR-АНАЛИЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ И ОКСИДА КРЕМНИЯ

Боковая панель статьи

PDF (English)
Опубликован: нояб. 28, 2023
Ключевые слова:
оксид кремния, ИК-Фурье-спектрометр, тонкие пленки, спектры поглощения, спектры пропускания, «ионно-плазменный» метод, показатель преломления, спектр НПВО

Основное содержимое статьи

Muradulla Normuradov
Doctor of Physical and Mathematical Sciences, Professor, Karshi State University
Kuvondik Dovranov
Karshi State Universit
Khuzhamkul Davranov
Karshi State University
Muzaffar Davlatov
Karshi State University

Аннотация

ИК-Фурье-спектрометры используются для решения различных задач современной аналитики. Предназначен для качественного анализа, проверки показателя преломления тонких пленок, толщины тонких пленок. Исследованы спектры пропускания и поглощения среднего инфракрасного диапазона, показатель преломления, толщина слоя, стандартное отклонение, угол падения, средние интерференционные полосы и связь между кремнием и кислородом тонких пленок, полученных ионно-плазменным методом.

Информация о статье

Как цитировать
Normuradov , M., Dovranov , K., Davranov , K., & Davlatov , M. (2023). FTIR-АНАЛИЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ И ОКСИДА КРЕМНИЯ. Научный вестник Ферганский государственный университета, 29(4), 68. извлечено от https://journal.fdu.uz/index.php/sjfsu/article/view/2701
Выпуск
№ 4 (2023): Научный журнал Ферганского государственного университета (Точные и естественные науки)
Раздел
Физика и техника
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.

Биографии авторов

Kuvondik Dovranov , Karshi State Universit

PhD student, Karshi State Universit

Khuzhamkul Davranov , Karshi State University

PhD student, Karshi State University

Muzaffar Davlatov , Karshi State University

PhD student, Karshi State University

Библиографические ссылки

Borilo L.P. Thin-film inorganic nanosystems. – Tomsk: 2012 – 134 p.

Scardera G., Puzzer T., Conibeer G., and Green M.A. Journal of Applied Physics 104, 104310 (2008); https://doi.org/10.1063/1.3021158

Normuradov M.T., Dovranov K.T., Davranov Kh.T.. QarDU xabarlari. №(4/1)54. pp. 27-31.2022.

Efimova A.I. A special physical workshop. Moscow, 2014.C: 41.

Normuradov M.T., Dovranov K.T., Davranov Kh.T., Davlatov M. “Prospects of development of the physics of condensed matter” International scientific and scientific-technical conference materials. October 4-15.pp.113-115 2022.

Caroline M., Parler James A., Ritter Michael, Amiridis D.. Journal of Non-Crystalline Solids. Vol. 279, Issues 2–3, February 2001, Pag, 119-125. https://doi.org/10.1016/S0022-3093(00)00401-4

Queeney K.T., Weldon M.K., Chang J.P., Chabal Y.J., Gurevich A.B., Sapjeta J., and Opila R.L. Journal of Applied Physics 87, 1322 (2000); https://doi.org/10.1063/1.372017

Francesco Boschetto, Nami Toyama, Satoshi Horiguchi, M. Ryan Bock, J. Bryan McEntire, Tetsuya Adachi, Elia Marin, Wenliang Zhu, B. Osam Mazda. Sonny Balde and Giuseppe Pezzotti. II.Fourier transform infrared spectroscopy. Analyst. 2018,143, 2128-2140.

https://doi.org/10.1039/C8AN00234G

Gun’ko V.M., Pakhlov E.M., Skubiszewska-Zięba J., Blitz J.P. Vibrational Spectroscopy. Vol. 88, January 2017, Pag, 56-62. https://doi.org/10.1016/j.vibspec.2016.11.003