ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР, СОЗДАННЫХ НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЫ SI/CU
Ключевые слова:
кремний, пленка, энергия, наноэлектроника, электрон, оксид, полупроводник.Аннотация
Методом низкоэнергетической (Е0=1-5 кэВ) имплантации ионов О2+, Ва+, Cu+ и Со+ с последующим отжигом на поверхности свободной нанопленочной системы Si/Cu(100) получены нанофазы и пленки SiO2 и силицидов металлов. Определены их морфология поверхности, состав, параметры энергетических зон, максимальное значение коэффициента вторичной электронной эмиссии, квантовый выход фотоэлектронов. В частности показано, что щерена запрещенной зоны силицидов металлов составляет 0.3-0.4 эВ, а их удельное сопротивления - 100-500 мкOм×см.
Библиографические ссылки
. A.L. Stepanov, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, V.V. Vorobev, A.M. Rogov, Y.N. Osin «Study of silicon surface implanted by silver ions», Vacuum 159 (2019) 353–357.(A.L. Stepanov, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeyev, V.V. Vorobev, A.M. Rogov, Y.N. Osin «Kumush ionlari bilan implantatsiya qilingan kremniy sirtini o‘rganish», Vakuum 159 (2019) 353-357. )
. D.N.Leong, M.A.Harry, K.J.Reeson, and K.P.Homewood, "On the origin of 1.5µm luminescence in ion beam synthesis β-FeSi2". Appl. Phys. Letters. V.68, 1649 (1996) (D.N.Leong, M.A.Harry, K.J.Reeson, va K.P.Homevood, " β-FeSi2 ning ion nurlari sintezida 1,5µm luminesansning kelib chiqishi haqida".)
. В.А.Гриценко, «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН, 178 727–737 (2008). (V.A.Grisenko, « Amorf nestoxiometrik kremniy oksidlari va nitridlarning atom tuzilishi» UFN, 178 727–737 (2008))
. К.В.Карабельников, П.А.Карасев, А.И.Титов, ФТП, Т.47, 206 (2013). (K.V.Karabelnikov, P.A.Karasev, A.I.Titov, FTP, T.47, 206 (2013)
. А.А.Алексеев, Д.А.Олянич, Т.В.Утас, В.С.Котляр, А.В.Зотов, А.А.Саранин, ЖТФ, Т.85, вып.10, 94 (2015). (A.A.Alekseyev, D.A.Olyanich, T.V.Utas, V.S.Kotlyar, A.V.Zotov, A.A.Saranin, JTF, T.85, nashr.10, 94 (2015)
. Ю.А. Ницук, М.И. Киосе, Ю.Ф. Вакстон, В.А. Смынтына, И.Р. Яцунский // ФиТП, 2019, Т.53, вып.3. С. 381-387. (Yu.A.Nisuk, M.I.Kiose, Yu.F.Vakston, V.A. Smitina, I.R.Yasunskiy // FiTP, 2019, T.53, nashr.3. S. 381-387.)
. S.B. Donaev, F. Djurabekova, D.A. Tashmukhamedova, B.E. Umirzakov «Formation of nanodimensional structures on surfaces of GaAs and Si by means of ion implantation», Physics Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics, V.12. Issue 1-2, January 2015, P.89-93. (S.B. Donayev, F. Djurabekova, D.A. Tashmuhamedova, B.E. Umirzaqov «GaAs va Si sirtlarida ion implantatsiyasi orqali nano o‘lchovli tuzilmalarni hosil qilish», Fizika holati Solidi (C) Qattiq jism fizikasining dolzarb mavzulari, V.12. Nashr 1-2, Yanvar 2015, P.89-93.)
. D. Wang and Z.-Q. Zou, Nanotechnology 20, 275607 (2009). (D.Vang va Z.-Q. Zou, Nanotexnologiya 20, 275607(2009)
. F. Komarov, L. Vlasukova, M. Greben, O. Milchanin, J. Zuk, W. Wesch, E. Wendler, and A. Togambaeva, Nucl. Instrum. and Methods In Phys. Res., Sect. B 307, 102 (2013). (F.Komarov, L. Vlasukova, M. Greben, O. Milchanin, J.Zuk, V.Vesch, E. Vendler, va A.Togambayeva, Nukl. Instrum. va fizikada usullar. Res., Sekt. B 307,102 (2013).
. Donaev S.B., Djurabekova F., Tashmukhamedova D.A. and Umirzakov B.E. Formation of nanodimensional structures on surfaces of GaAs and Si by means of ion implantation. Physica status solidi (c) 12 (1-2), 89-93, doi.org/10.1002/pssc.201400156. (Donayev S.B., Djurabekova F., Tashmuhamedova D.A. va Umirzaqov B.E. GaAs va Si sirtlarida ion implantatsiyasi yordamida nano o‘lchovli tuzilmalarni hosil qilish. Fizika holati mustahkam (c) 12 (1-2), 89-93, doi.org/10.1002/pssc.201400156.)
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2023 Научный вестник Ферганский государственный университета
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.
Как цитировать
Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)
- Alisher Yarkulov, НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ АРХЕОЛОГИЧЕСКИХ ПАРКОВ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 1 (2023): Научный журнал Ферганского государственного университета (Социальные гуманитарные науки)
- Alisher Rajabov, МИРБОБО НАКШБАНДИ ОБ УПОМИНАНИИ ДУШИ И ЕЕ ТИПОВ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 1 (2023): Научный журнал Ферганского государственного университета (Социальные гуманитарные науки)
- , ИСТОРИЧЕСКИЕ ПРЕДПОСЫЛКИ ВОЗНИКНОВЕНИЯ ШАНХАЙСКОЙ ОРГАНИЗATSIИ СОТРУДНИЧЕСТВА , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 2 (2025): FarDU ilmiy xabarlari jurnali (IJTIMOIY FANLAR)
- , ОБНОВЛЕННАЯ ИЗБИРАТЕЛЬНАЯ СИСТЕМ ОБНОВЛЕННАЯ ИЗБИРАТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА – ГАРАНТИЯ РАЗВИТИЯ СТРАНЫ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 6 (2024): Научный журнал Ферганского государственного университета (Социальные гуманитарные науки)
- , РАЗВИТИЕ НАЦИОНАЛЬНЫХ И МАССОВЫХ ВИДОВ СПОРТА В УЗБЕКИСТАНЕ В 1991-2005 ГГ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 2 (2025): FarDU ilmiy xabarlari jurnali (PEDAGOGIKA)
- , ПРИМЕНЕНИЕ ЦИФРОВЫХ ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ РЕСУРСОВ ПРИ ОРГАНИЗАЦИИ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ ПО СПЕЦИАЛЬНЫМ ДИСЦИПЛИНАМ НА ОСНОВЕ ПРОЕКТНОГО МЕТОДА , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 2 (2025): FarDU ilmiy xabarlari jurnali (PEDAGOGIKA)
- Akbar Sabirdinov , НЕИССЯКАЕМЫЙ ИСТОЧНИК ВДОХНОВЕНИЯ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 2 (2022): Научный журнал Ферганского государственного университета
- , РАЗМЫШЛЕНИЯ МИРБОБО НАКШБАНДИ О ЧЕЛОВЕЧЕСКОМ СОЗРЕВАНИИ, ОЧИЩЕНИИ ДУШИ И ДУХОВНОЙ ПИЩЕ , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 3 (2025): FarDU. Ilmiy xabarlar jurnali (Ijtimoiy fanlar)
- Alisher Xaitbayev, Nozima Xabibullayeva, Sherali Karimov, APIS MELLIFERA ASOSIDA OLINGAN XITOZAN DEATSETILLANISH DARAJASINI ANIQLASH , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 4 (2025): FarDU ilmiy xabarlari jurnali (Tabiiy fanlar)
- , , УЗБЕКИСТАНСКАЯ ЛИРИКА XX ВЕКА И ПОЭЗИЯ ОЙБЕКА , Научный вестник Ферганский государственный университета: № 3 (2025): FarDU.Ilmiy xabarlar jurnali (Filologiya)